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● Z1軸(檢出器)裝配高精度圓弧標(biāo)尺,通過(guò)直讀測(cè)針端的圓弧軌道,減少檢測(cè)機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的誤差,確保高精度和高分辨力??梢韵衲M方式那樣切換測(cè)量倍率,也可以在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量,而不需要對(duì)每個(gè)倍率進(jìn)行校正。
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